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多晶石墨加熱器

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產品詳情

       石墨加熱器作為多晶鑄錠工藝中的熱源,它的尺寸和位置直接影響了多晶硅晶體生長過程中的溫度分布和固態界面,目前采用的頂側加熱器在多晶硅熔融和晶體生長過程中能夠獲得較好的效率和固液界面。
       石墨加熱器作為定向凝固技術的熱源,主要通過輻射傳熱為熔融和長晶過程提供能量,直接關系到硅錠熔融和長晶時的溫度場是否合理穩定,因此需要研究不同的加熱器尺寸和位置對鑄錠爐內的熱場分布的影響。對多晶硅凝固過程中溫度場進行數值模擬是一種高效和重要的技術手段,可以更經濟和快捷地確定和優化工藝條件。


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